Digitoday

Tutkijat kehittivät uuden nanovalmistusmenetelmän Suomessa

Julkaistu: , Päivitetty:

Teknillisen korkeakoulun Micronovassa olevat tutkijat ovat kehittäneet uuden valmistusmenetelmän nanorakenteiden työstämiseen. Se nopeuttaa huomattavasti koko prosessia, TKK kertoo.


TKK:n mukaan valmistuksessa oivallettiin käyttää uudella tavalla kahden menetelmän yhdistelmää, kohdistettua ionisuihkua (FIB) ja matalan lämpötilan ionietsausta (DRIE). Tämä nopeuttaa merkittävästi valmistusprosessia ja mahdollistaa monimutkaisten kolmiulotteisten rakenteiden valmistamisen.

Koko prosessin läpiviemiseen kuluu viikkojen sijasta vain muutamia tunteja. Valmistusmenetelmän etuna on myös lopputuloksen erittäin korkea laatu ja erinomainen toistettavuus.

Menetelmä perustuu ionisuihkun seostusominaisuuteen. Ionisuihkun galliumionit tunkeutuvat näytteen pintakerrokseen ja muodostavat syväetsausta hyvin kestävän etsausmaskin. Koska suihku on hyvin kapea, pienin valmistettavissa oleva kuvio on kooltaan jopa alle 50 nanometriä.

– Piin ja muiden materiaalien nanotyöstömenetelmiä kehitetään erityisesti elektroniikka- ja optiikkasovelluksiin, ja kilpailu nopeampien ja laadukkaampien prosessien luomisessa on kovaa. Nyt keksimäämme menetelmää ei vain ollut aiemmin kokeiltu hyvin pienten rakenteiden valmistamisessa, kertoo oivalluksen tekijä Nikolai Chekurov.
MAINOS (TEKSTI JATKUU ALLA)
MAINOS PÄÄTTYY

– Menetelmämme tulee hyödyttämään erityisesti tutkimuskäyttöön tarkoitettujen pienten komponenttien valmistusta ja prototyyppien rakentamista.

Puhdaslinjan laitteiden
avulla mahdollista


Chekurovin väitöstutkimusta ohjaava professori Ilkka Tittonen on tyytyväinen Micronovan nanovalmistuslinjaan, jonka jalokivenä on uusi FIB-laite.

– Ilman Micronovan puhdastilan laitteita emme olisi voineet tätä menetelmää kehittää. Rakenteet ovat virheettömiä, kolmiulotteisia ja täysin ennalta määrättyjä ilman satunnaista vaihtelua, toteaa Tittonen.

Micronovaan hankittiin loppuvuodesta 2007 FIB-laite (Focused Ion Beam), joka on ainoa tämän luokan laite Suomessa. Laitteen käyttöönotto- ja testausvaiheessa viime kesänä Nikolai Chekurov valmisti nanokokoisen Aalto-maljakon, jonka korkeus oli noin 600 nanometriä ja tilavuus noin 0,1 femtolitraa.

Uusi nanorakenteiden valmistusmenetelmä on syntynyt TKK:n mikro- ja kvanttisysteemeitä sekä mikrovalmistustekniikkaa tutkivien ryhmien poikkitieteellisen yhteistyön tuloksena.

Tutkimustulos julkaistiin Nanotechnology-lehden verkkosivuilla tammikuussa 2009 ja helmikuussa painetussa lehdessä, jonka kansikuvaan on valittu uudella Micronovan valmistusmenetelmällä työstettyjä kolmiulotteisia nanorakenteita.

Kommentit

    Näytä lisää

    Näitä luetaan!
    1. 1

      AP: Pohjois-Korea antoi varoituksen – ”Ydinsota voi syttyä minä hetkenä hyvänsä”

    2. 2

      Radiojuontaja Jenni Alexandrova kertoi rehellisesti kokemastaan seksuaalisesta häirinnästä – ”Kyllä tuohon työmies tarpeensa tekisi”

    3. 3

      Mies maksoi 75,50 euron laskua käteisellä pankissa ja yllättyi – pankin mukaan tasarahalla ei kannata maksaa

    4. 4

      Huomaatko erikoisen yksityiskohdan? 19-vuotiaan Lisan viaton bikinikuva kummastuttaa Instagramissa

    5. 5

      Kuvat: Hirmumyrsky Ophelia kietoi Britannian aavemaiseen punaiseen harsoon – ”Tämä ei ole apokalypsi!”

    6. 6

      Halla-aho kommentoi PS:n piiripomon loikkausta Facebookissa: ”Tämä seikka selittäneekin arvopohjan äkillistä löytymistä”

    7. 7

      Tälle Pohjois-Korean mahdille ei naura enää kukaan – NYT: 6000 hengen ”armeija” ja ”lähes täydellinen ase”

    8. 8

      Millan vatsavaivat vähenivät huomattavasti – vain yksi muutos aamiaisessa riitti

    9. 9

      Nanna Karalahti avautui tabu-aiheesta radiossa – ei halua lopettaa poikansa imettämistä: Juontaja äimistyi

    10. 10

      Laulajatähden tavallinen ruokakuva aiheutti myrskyn – huomaatko miksi? Kaunotar kuittasi viiltävästi

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Huomaatko erikoisen yksityiskohdan? 19-vuotiaan Lisan viaton bikinikuva kummastuttaa Instagramissa

    2. 2

      Huippukokki tekee jauhelihakastikkeen vallankumouksellisella tavalla – ja se kannattaa

    3. 3

      Yksi sana saa Ensitreffit alttarilla -vaimon polttamaan päreensä – ”Se on minulle punainen vaate”

    4. 4

      Voihan maanantai! Jaajo Linnonmaa julkaisi rehellisen kuvan radiotyöstä – ”Minuutti ennen lähetystä”

    5. 5

      Aamuposti: Onko seteliisi painettu nämä kaksi tunnusta? Siitä voidaan pulittaa jopa 1100 euroa

    6. 6

      Mies maksoi 75,50 euron laskua käteisellä pankissa ja yllättyi – pankin mukaan tasarahalla ei kannata maksaa

    7. 7

      Onko tässä erikoisin hääkuva ikinä? Kreikkalaiskappeli kielsi ulkomaalaisparien häät rivon kuvan seurauksena

    8. 8

      Pink lähetti Eminemille rakkaudentäyteisen ja suoran sähköpostin – räppäri kuittasi sen vain yhdellä sanalla

    9. 9

      Maajussi-Aapon käytös pelästyttää morsianehdokkaan: kahvinkeitto johtaa epäilyihin ja hampaiden kiristelyyn – ”Ei uskalla sanoa mitään”

    10. 10

      Millan vatsavaivat vähenivät huomattavasti – vain yksi muutos aamiaisessa riitti

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Äänite paljasti uimavalvojien törky­puheet: alaikäisten koulu­tyttöjen opettaja sai kuulla pöyristyttävän kommentin

    2. 2

      Valokuvaaja paljastaa 55 vuotta alastonkuvien jälkeen: Marilyn Monroella oli vain yksi ehto nakuilulle

    3. 3

      Onko tässä erikoisin hääkuva ikinä? Kreikkalaiskappeli kielsi ulkomaalaisparien häät rivon kuvan seurauksena

    4. 4

      Jopa miljoonia uhreja – kävitkö vuoden sisällä suositulla pornosivustoilla?

    5. 5

      Tällaisen elämän miljardööri Niklas Herlin eli – muistokirjoitus

    6. 6

      Aku Hirviniemi katosi vuosi sitten äkisti julkisuudesta – nyt hän kertoo, mitä silloin tapahtui: ”Tuijotin vain tyhjyyteen”

    7. 7

      Madonnaa, 59, syytetään räikeästä kuvanmuokkauksesta – tuoreet kuvat kertovat totuuden: ”Tämä on jo noloa”

    8. 8

      Matti Ahde kertoo sairaudestaan ja yhä jatkuvista hoidoista – ”Tilanne on vakava”

    9. 9

      Niklas Herlin on kuollut

    10. 10

      Jymy-yllätys: Maajussi-Heikin morsianehdokas jättää sarjan – paljastaa painavan salaisuutensa

    11. Näytä lisää
    Näitä luetaan!
    1. 1

      AP: Pohjois-Korea antoi varoituksen – ”Ydinsota voi syttyä minä hetkenä hyvänsä”

    2. 2

      Radiojuontaja Jenni Alexandrova kertoi rehellisesti kokemastaan seksuaalisesta häirinnästä – ”Kyllä tuohon työmies tarpeensa tekisi”

    3. 3

      Mies maksoi 75,50 euron laskua käteisellä pankissa ja yllättyi – pankin mukaan tasarahalla ei kannata maksaa

    4. 4

      Huomaatko erikoisen yksityiskohdan? 19-vuotiaan Lisan viaton bikinikuva kummastuttaa Instagramissa

    5. 5

      Kuvat: Hirmumyrsky Ophelia kietoi Britannian aavemaiseen punaiseen harsoon – ”Tämä ei ole apokalypsi!”

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Huomaatko erikoisen yksityiskohdan? 19-vuotiaan Lisan viaton bikinikuva kummastuttaa Instagramissa

    2. 2

      Huippukokki tekee jauhelihakastikkeen vallankumouksellisella tavalla – ja se kannattaa

    3. 3

      Yksi sana saa Ensitreffit alttarilla -vaimon polttamaan päreensä – ”Se on minulle punainen vaate”

    4. 4

      Voihan maanantai! Jaajo Linnonmaa julkaisi rehellisen kuvan radiotyöstä – ”Minuutti ennen lähetystä”

    5. 5

      Aamuposti: Onko seteliisi painettu nämä kaksi tunnusta? Siitä voidaan pulittaa jopa 1100 euroa

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Äänite paljasti uimavalvojien törky­puheet: alaikäisten koulu­tyttöjen opettaja sai kuulla pöyristyttävän kommentin

    2. 2

      Valokuvaaja paljastaa 55 vuotta alastonkuvien jälkeen: Marilyn Monroella oli vain yksi ehto nakuilulle

    3. 3

      Onko tässä erikoisin hääkuva ikinä? Kreikkalaiskappeli kielsi ulkomaalaisparien häät rivon kuvan seurauksena

    4. 4

      Jopa miljoonia uhreja – kävitkö vuoden sisällä suositulla pornosivustoilla?

    5. 5

      Tällaisen elämän miljardööri Niklas Herlin eli – muistokirjoitus

    6. Näytä lisää