Digitoday

VTT:n vaurioitunut puhdastila siivottiin ja korjattiin

Julkaistu: , Päivitetty:

VTT kertoo, että sen puhdastila on jälleen käyttökunnossa helmikuisen tulipalon jälkeen.


Espoon Otaniemessä sijaitsevan Micronovan puhdastilan uudelleenrakentamistyöt ovat edenneet nopeassa aikataulussa, ja puhdastilassa on jälleen hyvät edellytykset mikroelektroniikan huippututkimukselle, VTT uskoo. Tutkimusta voidaan jatkaa jo lähiviikkojen aikana.

Suurin osa tulipalossa vaurioituneista puhdastilarakenteista ja ilmastointi on täysin uusittu. Uusien ja kunnostettujen tutkimuslaitteiden asennustyöt ovat käynnissä, ja prosessien ylösajo rinnakkain laitteiden asennustöiden kanssa on alkanut. Tilan uskotaan olevan täydessä tutkimuskäytössä vuoden loppuun mennessä.

Puhdastilaa käytetään mikro- ja nanoelektroniikan tutkimuksessa. Tutkimuslaitteisto käsittää cmos-tekniikkaan perustuvan valmistuslinjan integroiduille piireille ja mems-komponenteille sekä erikoislaitteita muun muassa piin ja piioksidin syväetsaukseen.

Tilassa on lisäksi materiaalitutkimukseen tarvittavia laitteita erityisesti nanoelektroniikan tarpeisiin.
MAINOS (TEKSTI JATKUU ALLA)
MAINOS PÄÄTTYY

Asiakkaiden toimeksiantojen ja tutkimusprojektien tarpeita on pyritty täyttämään siirtämällä kunnostettuja prosessilaitteita VTT:n ja TKK:n yhteiskäytössä olevaan uudempaan puhdastilaan Micronovassa sekä käyttämällä kotimaisten ja kansainvälisten yhteistyökumppaneiden alihankintapalveluja.

13,5 miljoonan vahingot

Tulipalossa tuhoutuneiden tutkimuslaitteiden tilalle on hankittu suorituskyvyltään vastaavat laitteet. Merkittävänä parannuksena voidaan pitää siirtymistä sadan millin kiekkokoosta 150 millin kiekkokokoon integroitujen piirien ja puolijohdekomponenttien valmistuksessa. VTT:n mukaan tämä parantaa yhteistyömahdollisuuksia teollisuuden kanssa.

Tulipalossa vaurioitunut 1100 neliömetrin puhdastila kärsi huomattavat vahingot, sillä tilan uudelleenrakentamisen ja kalustamisen kustannukset nousevat noin 13,5 miljoonaan euroon.

Senaatti-kiinteistöt on vastannut purku-, saneeraus- ja rakennustöistä. Vaativien tutkimuslaitteiden kunnostaminen ja korvaavien laitteiden hankinta ovat kuitenkin muodostaneet valtaosan kokonaiskustannuksista.

Micronova on VTT:n ja Teknillisen korkeakoulun yhteinen mikro- ja nanoteknologian osaamiskeskittymä. Micronovassa työskentelee yli kolmesataa tutkijaa ja siellä on Pohjoismaiden suurimmat mikro- ja nanoelektroniikan tutkimukseen liittyvät puhdastilat. Kansainvälistä huippututkimusta tehdään yhdessä yliopistojen, tutkimuslaitosten ja yritysten kanssa.

Kommentit

    Näytä lisää

    Näitä luetaan!
    1. 1

      Räikkösen ja Verstappenin kohutilanteesta iso meteli – nyt puhuu F1-kisatuomari Mika Salo: ”Ei ollut mitään epäilystä”

    2. 2

      Maria Veitola laukoo suorat sanat Tomi Metsäkedon Tähdet, tähdet -potkuista – ”Hänellä on selkeä ongelma”

    3. 3

      Max Verstappenin isä sivalsi Ferraria jäätävästi – kritisoi rajusti Räikkösen nostamista palkintopallille!

    4. 4

      Video: Kaikkien aikojen valtavin luonnonilmiö Suomessa – ”Kuin lähestyvän pikajunan kohina”

    5. 5

      Huimaa draamaa F1-kisassa – Räikkönen nousi sittenkin palkintopallille!

    6. 6

      Usain Bolt nauratti Kimi Räikköstä USA:ssa – juoksijalegenda löysi yhteisen tekijän Kimin kanssa

    7. 7

      Thaimaalaista Marisaa vietiin, kun Pattayan baarikadulla asteli vastaan suomalainen Mauri: ”Olen onnen nainen, kun sain hyvän miehen”

    8. 8

      Kuva näyttää pettymyksen hetken – Verstappen joutui nielemään katkeran tappion, Räikkönen hyötyjänä

    9. 9

      Max Verstappen raivona: ”Noilla typerillä päätöksillä te tapatte lajin”

    10. 10

      Työttömät kieltäytyivät työstä aina samalla selityksellä – teollisuuspohatan vastaveto saikin hakijan leuan loksahtamaan

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Työttömät kieltäytyivät työstä aina samalla selityksellä – teollisuuspohatan vastaveto saikin hakijan leuan loksahtamaan

    2. 2

      Thaimaalaista Marisaa vietiin, kun Pattayan baarikadulla asteli vastaan suomalainen Mauri: ”Olen onnen nainen, kun sain hyvän miehen”

    3. 3

      Leivinuunin ”lisälaite” yllätti pariskunnan – tunnelmallinen lauantai-ilta meni pilalle

    4. 4

      Pitkä ennuste julki: Näin talven ensimmäiset merkit saapuvat Suomeen

    5. 5

      Räikkönen nousi dramaattisesti palkintokorokkeelle! Hamilton voittoon – IS seurasi Yhdysvaltain GP:tä

    6. 6

      Video: Kaikkien aikojen valtavin luonnonilmiö Suomessa – ”Kuin lähestyvän pikajunan kohina”

    7. 7

      MTV: Janna joutui äkillisesti sairaalahoitoon – jää pois illan Tähdet, tähdet -lähetyksestä

    8. 8

      Ensi viikon lauha sää peruttu – tilalle lunta ja räntää

    9. 9

      Pelastaja kertoo karmeasta näystä Tehtaankadulla 20 vuotta sitten: ”Täällä on tapahtunut teloitus” – sitten sattuma vei hänet lähelle poliisimurhaajaa

    10. 10

      Harvinainen näky: Kaikki elossa olevat USA:n ex-presidentit saapuivat lavalle hyväntekeväisyyskonsertissa

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Työttömät kieltäytyivät työstä aina samalla selityksellä – teollisuuspohatan vastaveto saikin hakijan leuan loksahtamaan

    2. 2

      Dopingtuomion saaneen Therese Johaugin ulkoinen olemus on jotain aivan muuta kuin kaksi kuukautta sitten – katso kuvat

    3. 3

      Huomaatko erikoisen yksityiskohdan? 19-vuotiaan Lisan viaton bikinikuva kummastuttaa Instagramissa

    4. 4

      Leivinuunin ”lisälaite” yllätti pariskunnan – tunnelmallinen lauantai-ilta meni pilalle

    5. 5

      Tutut liikennemerkit muuttuvat sukupuolineutraaleiksi – katso kuvat!

    6. 6

      Näin päättyi Napakymppi-parin Ikaalisten matka – piikki auki, Ville jätti taksit maksamatta: ”Odotin, milloin pääsen pois”

    7. 7

      Nuoren Emman netti-ihastus olikin kaljuuntuva, 53-vuotias kauppias – sen jälkeen tapahtui jotain käsittämätöntä

    8. 8

      Lahdesta löytynyt vainaja edelleen tunnistamatta – poliisi julkaisi poikkeuksellisesti kuvan ruumiista

    9. 9

      Kova väite K-Supermarketin kalatiskin kikasta ja takahuoneen tapahtumista – 22-vuotias Miss Tampere kertoo olevansa yksi kauppiaan uhreista

    10. 10

      Thaimaalaista Marisaa vietiin, kun Pattayan baarikadulla asteli vastaan suomalainen Mauri: ”Olen onnen nainen, kun sain hyvän miehen”

    11. Näytä lisää
    Näitä luetaan!
    1. 1

      Räikkösen ja Verstappenin kohutilanteesta iso meteli – nyt puhuu F1-kisatuomari Mika Salo: ”Ei ollut mitään epäilystä”

    2. 2

      Maria Veitola laukoo suorat sanat Tomi Metsäkedon Tähdet, tähdet -potkuista – ”Hänellä on selkeä ongelma”

    3. 3

      Max Verstappenin isä sivalsi Ferraria jäätävästi – kritisoi rajusti Räikkösen nostamista palkintopallille!

    4. 4

      Video: Kaikkien aikojen valtavin luonnonilmiö Suomessa – ”Kuin lähestyvän pikajunan kohina”

    5. 5

      Huimaa draamaa F1-kisassa – Räikkönen nousi sittenkin palkintopallille!

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Työttömät kieltäytyivät työstä aina samalla selityksellä – teollisuuspohatan vastaveto saikin hakijan leuan loksahtamaan

    2. 2

      Thaimaalaista Marisaa vietiin, kun Pattayan baarikadulla asteli vastaan suomalainen Mauri: ”Olen onnen nainen, kun sain hyvän miehen”

    3. 3

      Leivinuunin ”lisälaite” yllätti pariskunnan – tunnelmallinen lauantai-ilta meni pilalle

    4. 4

      Pitkä ennuste julki: Näin talven ensimmäiset merkit saapuvat Suomeen

    5. 5

      Räikkönen nousi dramaattisesti palkintokorokkeelle! Hamilton voittoon – IS seurasi Yhdysvaltain GP:tä

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Työttömät kieltäytyivät työstä aina samalla selityksellä – teollisuuspohatan vastaveto saikin hakijan leuan loksahtamaan

    2. 2

      Dopingtuomion saaneen Therese Johaugin ulkoinen olemus on jotain aivan muuta kuin kaksi kuukautta sitten – katso kuvat

    3. 3

      Huomaatko erikoisen yksityiskohdan? 19-vuotiaan Lisan viaton bikinikuva kummastuttaa Instagramissa

    4. 4

      Leivinuunin ”lisälaite” yllätti pariskunnan – tunnelmallinen lauantai-ilta meni pilalle

    5. 5

      Tutut liikennemerkit muuttuvat sukupuolineutraaleiksi – katso kuvat!

    6. Näytä lisää