VTT:n palon turmelema puhdastila taas kunnossa

Julkaistu: , Päivitetty:

VTT kertoo, että sen puhdastila on jälleen käyttökunnossa helmikuisen tulipalon jälkeen.


Espoon Otaniemessä sijaitsevan Micronovan puhdastilan uudelleenrakentamistyöt ovat edenneet nopeassa aikataulussa, ja puhdastilassa on jälleen hyvät edellytykset mikroelektroniikan huippututkimukselle, VTT uskoo. Tutkimusta voidaan jatkaa jo lähiviikkojen aikana.

Suurin osa tulipalossa vaurioituneista puhdastilarakenteista ja ilmastointi on täysin uusittu. Uusien ja kunnostettujen tutkimuslaitteiden asennustyöt ovat käynnissä, ja prosessien ylösajo rinnakkain laitteiden asennustöiden kanssa on alkanut. Tilan uskotaan olevan täydessä tutkimuskäytössä vuoden loppuun mennessä.

Puhdastilaa käytetään mikro- ja nanoelektroniikan tutkimuksessa. Tutkimuslaitteisto käsittää cmos-tekniikkaan perustuvan valmistuslinjan integroiduille piireille ja mems-komponenteille sekä erikoislaitteita muun muassa piin ja piioksidin syväetsaukseen.

Tilassa on lisäksi materiaalitutkimukseen tarvittavia laitteita erityisesti nanoelektroniikan tarpeisiin.
MAINOS (TEKSTI JATKUU ALLA)
MAINOS PÄÄTTYY

Asiakkaiden toimeksiantojen ja tutkimusprojektien tarpeita on pyritty täyttämään siirtämällä kunnostettuja prosessilaitteita VTT:n ja TKK:n yhteiskäytössä olevaan uudempaan puhdastilaan Micronovassa sekä käyttämällä kotimaisten ja kansainvälisten yhteistyökumppaneiden alihankintapalveluja.

13,5 miljoonan vahingot

Tulipalossa tuhoutuneiden tutkimuslaitteiden tilalle on hankittu suorituskyvyltään vastaavat laitteet. Merkittävänä parannuksena voidaan pitää siirtymistä sadan millin kiekkokoosta 150 millin kiekkokokoon integroitujen piirien ja puolijohdekomponenttien valmistuksessa. VTT:n mukaan tämä parantaa yhteistyömahdollisuuksia teollisuuden kanssa.

Tulipalossa vaurioitunut 1100 neliömetrin puhdastila kärsi huomattavat vahingot, sillä tilan uudelleenrakentamisen ja kalustamisen kustannukset nousevat noin 13,5 miljoonaan euroon.

Senaatti-kiinteistöt on vastannut purku-, saneeraus- ja rakennustöistä. Vaativien tutkimuslaitteiden kunnostaminen ja korvaavien laitteiden hankinta ovat kuitenkin muodostaneet valtaosan kokonaiskustannuksista.

Micronova on VTT:n ja Teknillisen korkeakoulun yhteinen mikro- ja nanoteknologian osaamiskeskittymä. Micronovassa työskentelee yli kolmesataa tutkijaa ja siellä on Pohjoismaiden suurimmat mikro- ja nanoelektroniikan tutkimukseen liittyvät puhdastilat. Kansainvälistä huippututkimusta tehdään yhdessä yliopistojen, tutkimuslaitosten ja yritysten kanssa.

Kommentit

    Näytä lisää

    Näitä luetaan!
    1. 1

      VM: Hallituksen budjetti leikkaa pienituloisilta 37 euroa ja antaa hyvätuloisille 400 lisää – näin se tapahtuu

    2. 2

      Jan Hurrin näkökulma: Saksa ja Ranska haluavat erilaisen EU:n kuin Suomi

    3. 3

      Liikemiehen villi visio: Joulupukille oma valtio Rovaniemen viereen

    4. 4

      Kun riita yksityistiestä kestää sukupolvien ajan: mökkiläinen kiusaa perhettä Savossa – ”Pahinta on arvaamattomuus”

    5. 5

      Synkkä tutkimus suomalaisesta työelämästä: Jo 25 000 nuorta eläkkeellä

    6. 6

      Kiina harkitsee avautuvansa lisää ulkomaisille sähköauton valmistajille

    7. 7

      Suomessa 3 500 autoa, Ruotsissa 50 000 – tästä syystä kaasuauto ei ole yleistynyt

    8. 8

      Kommentti: Montako virkamiestä tarvitaan viemään läpi rautatieuudistus?

    9. 9

      Seppälän konkurssimyynti alkoi aamulla – ”Jotenkin arvasi, että näin tässä lopulta käy”

    10. 10

      Yksi asukas voi aiheuttaa ötökkäpiinan koko taloon – osa kieltäytyy luteiden hävityksestä

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Kun riita yksityistiestä kestää sukupolvien ajan: mökkiläinen kiusaa perhettä Savossa – ”Pahinta on arvaamattomuus”

    2. 2

      VM: Hallituksen budjetti leikkaa pienituloisilta 37 euroa ja antaa hyvätuloisille 400 lisää – näin se tapahtuu

    3. 3

      Pääministeri Sipilä: Suomeen perustetaan uusi taloustieteen huippuyksikkö

    4. 4

      Synkkä tutkimus suomalaisesta työelämästä: Jo 25 000 nuorta eläkkeellä

    5. 5

      Seppälän konkurssimyynti alkoi aamulla – ”Jotenkin arvasi, että näin tässä lopulta käy”

    6. 6

      Suomessa 3 500 autoa, Ruotsissa 50 000 – tästä syystä kaasuauto ei ole yleistynyt

    7. 7

      Töitä tarjolla, peruspalkka 1 700 €/kk – ja hakemuksia tulvii

    8. 8

      84-vuotias savolaissijoittaja lahjoitti koko 4,3 miljoonan euron salkkunsa norppien suojeluun – luksuselämä ei kiehtonut

    9. 9

      Kaupankäynti Afarak Groupin osakkeella keskeytetty

    10. 10

      Toys ”R” Us hakeutuu konkurssiin Pohjois-Amerikassa – syynä verkkokilpailu

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Lähihoitaja nipistää palkastaan 1 000 €/kk lapsille ja säästöön – näin se käy

    2. 2

      5000 €/kk tienaava Tiina otti eron, osti huonekaluja ja auttoi työtöntä tytärtään – sitten alkoi synkkä kurimus

    3. 3

      5 erilaista säästäjää kertoo: Näin sijoittaisin 100 €/kk ja 500 € kerralla

    4. 4

      Synkkä tutkimus suomalaisesta työelämästä: Jo 25 000 nuorta eläkkeellä

    5. 5

      84-vuotias savolaissijoittaja lahjoitti koko 4,3 miljoonan euron salkkunsa norppien suojeluun – luksuselämä ei kiehtonut

    6. 6

      Nordea tiedusteli erikoisella kirjeellä poliittista vaikutusvaltaa – epäilevä Tuomo, 75, ei aio vastata

    7. 7

      Seppälän konkurssimyynti alkoi aamulla – ”Jotenkin arvasi, että näin tässä lopulta käy”

    8. 8

      Töitä tarjolla, peruspalkka 1 700 €/kk – ja hakemuksia tulvii

    9. 9

      Kun riita yksityistiestä kestää sukupolvien ajan: mökkiläinen kiusaa perhettä Savossa – ”Pahinta on arvaamattomuus”

    10. 10

      VR:n pilkkominen etenee vähin äänin: puolen miljardin euron varainsiirto, Heliövaara ulos työryhmästä

    11. Näytä lisää