Digitoday

Valikko

Tutkijat kehittivät uuden nanovalmistusmenetelmän Suomessa

Julkaistu: , Päivitetty:

Teknillisen korkeakoulun Micronovassa olevat tutkijat ovat kehittäneet uuden valmistusmenetelmän nanorakenteiden työstämiseen. Se nopeuttaa huomattavasti koko prosessia, TKK kertoo.


TKK:n mukaan valmistuksessa oivallettiin käyttää uudella tavalla kahden menetelmän yhdistelmää, kohdistettua ionisuihkua (FIB) ja matalan lämpötilan ionietsausta (DRIE). Tämä nopeuttaa merkittävästi valmistusprosessia ja mahdollistaa monimutkaisten kolmiulotteisten rakenteiden valmistamisen.

Koko prosessin läpiviemiseen kuluu viikkojen sijasta vain muutamia tunteja. Valmistusmenetelmän etuna on myös lopputuloksen erittäin korkea laatu ja erinomainen toistettavuus.

Menetelmä perustuu ionisuihkun seostusominaisuuteen. Ionisuihkun galliumionit tunkeutuvat näytteen pintakerrokseen ja muodostavat syväetsausta hyvin kestävän etsausmaskin. Koska suihku on hyvin kapea, pienin valmistettavissa oleva kuvio on kooltaan jopa alle 50 nanometriä.

– Piin ja muiden materiaalien nanotyöstömenetelmiä kehitetään erityisesti elektroniikka- ja optiikkasovelluksiin, ja kilpailu nopeampien ja laadukkaampien prosessien luomisessa on kovaa. Nyt keksimäämme menetelmää ei vain ollut aiemmin kokeiltu hyvin pienten rakenteiden valmistamisessa, kertoo oivalluksen tekijä Nikolai Chekurov.

– Menetelmämme tulee hyödyttämään erityisesti tutkimuskäyttöön tarkoitettujen pienten komponenttien valmistusta ja prototyyppien rakentamista.

Puhdaslinjan laitteiden
avulla mahdollista


Chekurovin väitöstutkimusta ohjaava professori Ilkka Tittonen on tyytyväinen Micronovan nanovalmistuslinjaan, jonka jalokivenä on uusi FIB-laite.

– Ilman Micronovan puhdastilan laitteita emme olisi voineet tätä menetelmää kehittää. Rakenteet ovat virheettömiä, kolmiulotteisia ja täysin ennalta määrättyjä ilman satunnaista vaihtelua, toteaa Tittonen.

Micronovaan hankittiin loppuvuodesta 2007 FIB-laite (Focused Ion Beam), joka on ainoa tämän luokan laite Suomessa. Laitteen käyttöönotto- ja testausvaiheessa viime kesänä Nikolai Chekurov valmisti nanokokoisen Aalto-maljakon, jonka korkeus oli noin 600 nanometriä ja tilavuus noin 0,1 femtolitraa.

Uusi nanorakenteiden valmistusmenetelmä on syntynyt TKK:n mikro- ja kvanttisysteemeitä sekä mikrovalmistustekniikkaa tutkivien ryhmien poikkitieteellisen yhteistyön tuloksena.

Tutkimustulos julkaistiin Nanotechnology-lehden verkkosivuilla tammikuussa 2009 ja helmikuussa painetussa lehdessä, jonka kansikuvaan on valittu uudella Micronovan valmistusmenetelmällä työstettyjä kolmiulotteisia nanorakenteita.

Kommentit

    Näytä lisää

    Näitä luetaan!
    1. 1

      Kris Jennerin paljastavasta salikuvasta löytyi nolo moka: kuvanmuokkaus meni pahasti pieleen – jopa fanit kritisoivat: ”Surullista!”

    2. 2

      Leskiprinsessa ja 7 tytärtä pitivät orjia luksushotellissa – tuomittujen palvelusväkeä pidettiin epäinhimillisissä olosuhteissa

    3. 3

      Pirullisen vaikea tarkkuustesti testaa hoksottimesi

    4. 4

      Erikoinen villitys suomalaislaulajan hittikappaleesta: kymmenet tatuoivat yhden sanaparin iholleen – katso kuvat

    5. 5

      Unohda perinteinen lankku! Nämä keskivartaloliikkeet ovat paljon parempia selälle

    6. 6

      Pohjoiskorealainen sotilas loikkasi rajajoen yli etelään – sitoi itseensä styroksipaloja pysyäkseen pinnalla

    7. 7

      Taas draamaa Bakun F1-harjoituksissa – nyt syttyi Renault’n auto palamaan

    8. 8

      Isis suoritti äärimmäisen julmia kostoiskuja – osoitus naisten ja lasten kammottavista kärsimyksistä saarretussa Mosulissa

    9. 9

      Lentoemäntä Martinalla on Euroopan suurimmat rinnat – haaveilee nyt yhtä äärimmäisestä pepusta: kirurgeilta täystyrmäys

    10. 10

      Onko tässä Suomen komein halkopino? Kaikkien halkopinojen äitiin upposi 15 kuutiota pilkkeitä

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Lentoemäntä Martinalla on Euroopan suurimmat rinnat – haaveilee nyt yhtä äärimmäisestä pepusta: kirurgeilta täystyrmäys

    2. 2

      Kesäyö innosti pariskunnan niin villiin seksiin, ettei tuhoilta vältytty – leirintäalueen johtaja kertoo näkymästä, joka ei unohdu

    3. 3

      Suviseurojen ruokalista julki – ovatko tässä Suomen halvimmat ”festariruoat”?

    4. 4

      Aku Hirviniemeltä härski vastaisku Katri Sorsan seksielämäpaljastukseen: ”Paikka, jossa masturboin...”

    5. 5

      Yleisö hiljeni ja odotti Nummirockissa: Se hetki, kun mies kosii kesken suosikkibändin keikan – ”Tiesin kyllä mitä vastaan”

    6. 6

      Miro Heiskanen teki kiekkohistoriaa – NHL:n varaustilaisuudessa kaikkien aikojen suomalaisvuosi

    7. 7

      Kouvolalainen Markku on käynyt Pohjois-Koreassa yli 30 kertaa auttamassa – Kuvat suljetusta diktatuurista kertovat paljon

    8. 8

      Tältä näytti Alkon kassalla juuri ennen sulkemista juhannusaattona – ”Kyllä niitä melkein joka juhannus tulee”

    9. 9

      Ykköskierroksella varattu suomalaislupaus pettyi – ”Kaikki ei napsahtanut kohdilleen”

    10. 10

      Räikkönen jätti toimittajan seisomaan – käveli pois kesken kysymyksen

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Kesäyö innosti pariskunnan niin villiin seksiin, ettei tuhoilta vältytty – leirintäalueen johtaja kertoo näkymästä, joka ei unohdu

    2. 2

      Lentoemännän yksinkertainen vessakikka toimii yhtä varmasti myös kotona

    3. 3

      8 naista kertoo, millaiset seksiehdotukset oikeasti toimivat: ”Se on varma keino”

    4. 4

      Kasperi Kapanen toi kanadalaisrakkaansa Suomeen – 18-vuotias Annika käänsi katseita Kuopion rannoilla pepun paljastavissa bikineissä

    5. 5

      Martina Aitolehden kipujen syy selvisi: Lääkäriltä tyly tuomio – ”Kyyneleethän siinä pääsi”

    6. 6

      Entinen miljonääri luopui kaikesta ja muutti hökkeliin autiolle saarelle – 20 vuotta eikä ole katunut päivääkään

    7. 7

      Kotihälytyskeikalla odotti näky, joka riipaisi jopa vanhan sosiaalityöntekijän sydäntä – viranomaiset vetoavat juhannusjuhlijoihin

    8. 8

      23 asiaa, jotka mullistuvat uudessa alkoholilaissa – kapakoiden aukioloajat, neloskalja kauppoihin...

    9. 9

      Metsämustikoissa voi piillä vaarallinen loinen – onko syytä huoleen?

    10. 10

      Saako 15-vuotias olla yötä tyttöystävän luona? Psykologi: ”Vanhemmuuteen kuuluu estää yhdessä yöpymiset”

    11. Näytä lisää
    Näitä luetaan!
    1. 1

      Kris Jennerin paljastavasta salikuvasta löytyi nolo moka: kuvanmuokkaus meni pahasti pieleen – jopa fanit kritisoivat: ”Surullista!”

    2. 2

      Leskiprinsessa ja 7 tytärtä pitivät orjia luksushotellissa – tuomittujen palvelusväkeä pidettiin epäinhimillisissä olosuhteissa

    3. 3

      Pirullisen vaikea tarkkuustesti testaa hoksottimesi

    4. 4

      Erikoinen villitys suomalaislaulajan hittikappaleesta: kymmenet tatuoivat yhden sanaparin iholleen – katso kuvat

    5. 5

      Unohda perinteinen lankku! Nämä keskivartaloliikkeet ovat paljon parempia selälle

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Lentoemäntä Martinalla on Euroopan suurimmat rinnat – haaveilee nyt yhtä äärimmäisestä pepusta: kirurgeilta täystyrmäys

    2. 2

      Kesäyö innosti pariskunnan niin villiin seksiin, ettei tuhoilta vältytty – leirintäalueen johtaja kertoo näkymästä, joka ei unohdu

    3. 3

      Suviseurojen ruokalista julki – ovatko tässä Suomen halvimmat ”festariruoat”?

    4. 4

      Aku Hirviniemeltä härski vastaisku Katri Sorsan seksielämäpaljastukseen: ”Paikka, jossa masturboin...”

    5. 5

      Yleisö hiljeni ja odotti Nummirockissa: Se hetki, kun mies kosii kesken suosikkibändin keikan – ”Tiesin kyllä mitä vastaan”

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Kesäyö innosti pariskunnan niin villiin seksiin, ettei tuhoilta vältytty – leirintäalueen johtaja kertoo näkymästä, joka ei unohdu

    2. 2

      Lentoemännän yksinkertainen vessakikka toimii yhtä varmasti myös kotona

    3. 3

      8 naista kertoo, millaiset seksiehdotukset oikeasti toimivat: ”Se on varma keino”

    4. 4

      Kasperi Kapanen toi kanadalaisrakkaansa Suomeen – 18-vuotias Annika käänsi katseita Kuopion rannoilla pepun paljastavissa bikineissä

    5. 5

      Martina Aitolehden kipujen syy selvisi: Lääkäriltä tyly tuomio – ”Kyyneleethän siinä pääsi”

    6. Näytä lisää