Digitoday

Valikko

Tutkijat kehittivät uuden nanovalmistusmenetelmän Suomessa

Teknillisen korkeakoulun Micronovassa olevat tutkijat ovat kehittäneet uuden valmistusmenetelmän nanorakenteiden työstämiseen. Se nopeuttaa huomattavasti koko prosessia, TKK kertoo.


TKK:n mukaan valmistuksessa oivallettiin käyttää uudella tavalla kahden menetelmän yhdistelmää, kohdistettua ionisuihkua (FIB) ja matalan lämpötilan ionietsausta (DRIE). Tämä nopeuttaa merkittävästi valmistusprosessia ja mahdollistaa monimutkaisten kolmiulotteisten rakenteiden valmistamisen.

Koko prosessin läpiviemiseen kuluu viikkojen sijasta vain muutamia tunteja. Valmistusmenetelmän etuna on myös lopputuloksen erittäin korkea laatu ja erinomainen toistettavuus.

Menetelmä perustuu ionisuihkun seostusominaisuuteen. Ionisuihkun galliumionit tunkeutuvat näytteen pintakerrokseen ja muodostavat syväetsausta hyvin kestävän etsausmaskin. Koska suihku on hyvin kapea, pienin valmistettavissa oleva kuvio on kooltaan jopa alle 50 nanometriä.

– Piin ja muiden materiaalien nanotyöstömenetelmiä kehitetään erityisesti elektroniikka- ja optiikkasovelluksiin, ja kilpailu nopeampien ja laadukkaampien prosessien luomisessa on kovaa. Nyt keksimäämme menetelmää ei vain ollut aiemmin kokeiltu hyvin pienten rakenteiden valmistamisessa, kertoo oivalluksen tekijä Nikolai Chekurov.

– Menetelmämme tulee hyödyttämään erityisesti tutkimuskäyttöön tarkoitettujen pienten komponenttien valmistusta ja prototyyppien rakentamista.

Puhdaslinjan laitteiden
avulla mahdollista


Chekurovin väitöstutkimusta ohjaava professori Ilkka Tittonen on tyytyväinen Micronovan nanovalmistuslinjaan, jonka jalokivenä on uusi FIB-laite.

– Ilman Micronovan puhdastilan laitteita emme olisi voineet tätä menetelmää kehittää. Rakenteet ovat virheettömiä, kolmiulotteisia ja täysin ennalta määrättyjä ilman satunnaista vaihtelua, toteaa Tittonen.

Micronovaan hankittiin loppuvuodesta 2007 FIB-laite (Focused Ion Beam), joka on ainoa tämän luokan laite Suomessa. Laitteen käyttöönotto- ja testausvaiheessa viime kesänä Nikolai Chekurov valmisti nanokokoisen Aalto-maljakon, jonka korkeus oli noin 600 nanometriä ja tilavuus noin 0,1 femtolitraa.

Uusi nanorakenteiden valmistusmenetelmä on syntynyt TKK:n mikro- ja kvanttisysteemeitä sekä mikrovalmistustekniikkaa tutkivien ryhmien poikkitieteellisen yhteistyön tuloksena.

Tutkimustulos julkaistiin Nanotechnology-lehden verkkosivuilla tammikuussa 2009 ja helmikuussa painetussa lehdessä, jonka kansikuvaan on valittu uudella Micronovan valmistusmenetelmällä työstettyjä kolmiulotteisia nanorakenteita.

Kommentit

    Näytä lisää

    Näitä luetaan!
    1. 1

      Video: Naamioitunut joukko ilmestyi Sipilän vaalitilaisuuteen

    2. 2

      Pyssy vaihtui biksuihin – Playboy-kuviin kosiskeltu ampumahiihtokaunotar poseeraa kauden päätteeksi pikkuisissa bikineissä

    3. 3

      Osaatko ratkaista japanilaisinsinöörien ”helpon” matematiikkapähkinän? Alle 60 prosenttia vastasi oikein

    4. 4

      Yksi varomaton lause Dr. Phil -ohjelmassa teki Daniellesta, 14, megajulkkiksen – ”Hän on varmasti miljonääri vuoden lopussa”

    5. 5

      MM-taitoluisteluun valmistautuva Emmi Peltonen seurustelusta kiekkolupauksen kanssa: ”Pysytään vaan asiassa”

    6. 6

      Lewis Hamilton kunnioitti syksyllä kuollutta Aki Hintsaa upealla tavalla – tässä on ”pikku-Aki”

    7. 7

      Jyväskyläläinen Erkki on kahden kesämökin loukussa: ”Se on pelkkää työleiriä”

    8. 8

      Jopa kolmannes syövistä voitaisiin välttää – 15 ruokaa, jotka ehkäisevät syöpää

    9. 9

      Lapset yllättivät vanhemmat petipuuhista – psykologi vastaa kauhistuneelle äidille

    10. 10

      Kiina-asiantuntija ihmettelee Suomen alastomuutta vaativia saunapoliiseja: ”Jos paha sana kiirii...”

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Bikinipöksyt kokevat tänä kesänä muodonmuutoksen – pukisitko itse yllesi?

    2. 2

      Autotehtaan 30 000 euron vuosipalkka herätti ihmetystä – näin Valmet Automotive vastaa

    3. 3

      Raisa Räisäsen mysteeristä ja Pasi Aaltosen murhasta paljastui erikoinen yhteys – keskiössä tamperelainen pubi

    4. 4

      Karu kuva rannalta kertoo, miksi sukeltaja etsi kahville lähteneitä pilkkijöitä – hoksaatko, mikä sitten herätti pelastajien huomion?

    5. 5

      HS: Kahvi uhkaa loppua maailmasta, tilanne dramaattisen vakava – myös Suomen Paulig on huolissaan

    6. 6

      Yksi varomaton lause Dr. Phil -ohjelmassa teki Daniellesta, 14, megajulkkiksen – ”Hän on varmasti miljonääri vuoden lopussa”

    7. 7

      Leo Komarov teki kiistanalaisen sopimuksen – ura Leijonissa vaakalaudalla

    8. 8

      Vastanäyttelijän ulkonäkö ei kelvannut Emmerdale-kaunottarelle: Uhkasi lähteä sarjasta – ”Ei tarpeeksi komea”

    9. 9

      Teinitytöt legginseissä käännytettiin lähtöportilla, somemyrsky nousi USA:ssa – huippumalli Chrissy Teigen: ”Olen lentänyt ilman housuja”

    10. 10

      Janni Hussilta rankka avautuminen saamastaan arvostelusta eron jälkeen: ”Olen kuullut, kuinka olen lihonut”

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Merkel tyrmistyi ”hävyttömästä” tempusta – Trump ojensi 350 miljardin laskun

    2. 2

      Rovaniemen junan lähtö viivästyi yllättäen – konduktööriltä kylmäävä kuulutus: ”Junassa on vakava henkeä uhkaava tilanne”

    3. 3

      Nuoren naisen asunnosta levisi karmea haju 48 asunnon taloyhtiöön – löydön puhdistamiseen tarvittiin siirtolava

    4. 4

      Bikinipöksyt kokevat tänä kesänä muodonmuutoksen – pukisitko itse yllesi?

    5. 5

      Teinityttö tervehti tuntematonta miestä koulumatkalla – siitä käynnistyi painajainen

    6. 6

      Suomen tunnetuin bordelli pyöri Riihimäellä – rattohotelli Bonanzan henkilökunnalla suora ohje lapsiperheiden varalle

    7. 7

      Tiesitkö? Helsingissä asuu yksi kaikkein aikojen menestyneimmän heviyhtyeen kitaristi – rakastui suomalaiseen Mariaan, elää nyt lapsiperheen arkea Suomessa

    8. 8

      IS seurasi tapahtumien etenemistä: Terrori-isku parlamentin luona Lontoossa – 4 kuoli

    9. 9

      Teinityttö julkaisi hervottoman kuvaparin äidistään kostean illanvieton jälkeen – kiusallinen kuva villitsee somessa: ”Lauantai ja sunnuntai”

    10. 10

      Vihreä Nissan lepää kyljellään Tornion keskustassa – poliisi kertoo, miksi ei puutu tapaukseen

    11. Näytä lisää
    Näitä luetaan!
    1. 1

      Video: Naamioitunut joukko ilmestyi Sipilän vaalitilaisuuteen

    2. 2

      Pyssy vaihtui biksuihin – Playboy-kuviin kosiskeltu ampumahiihtokaunotar poseeraa kauden päätteeksi pikkuisissa bikineissä

    3. 3

      Osaatko ratkaista japanilaisinsinöörien ”helpon” matematiikkapähkinän? Alle 60 prosenttia vastasi oikein

    4. 4

      Yksi varomaton lause Dr. Phil -ohjelmassa teki Daniellesta, 14, megajulkkiksen – ”Hän on varmasti miljonääri vuoden lopussa”

    5. 5

      MM-taitoluisteluun valmistautuva Emmi Peltonen seurustelusta kiekkolupauksen kanssa: ”Pysytään vaan asiassa”

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Bikinipöksyt kokevat tänä kesänä muodonmuutoksen – pukisitko itse yllesi?

    2. 2

      Autotehtaan 30 000 euron vuosipalkka herätti ihmetystä – näin Valmet Automotive vastaa

    3. 3

      Raisa Räisäsen mysteeristä ja Pasi Aaltosen murhasta paljastui erikoinen yhteys – keskiössä tamperelainen pubi

    4. 4

      Karu kuva rannalta kertoo, miksi sukeltaja etsi kahville lähteneitä pilkkijöitä – hoksaatko, mikä sitten herätti pelastajien huomion?

    5. 5

      HS: Kahvi uhkaa loppua maailmasta, tilanne dramaattisen vakava – myös Suomen Paulig on huolissaan

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Merkel tyrmistyi ”hävyttömästä” tempusta – Trump ojensi 350 miljardin laskun

    2. 2

      Rovaniemen junan lähtö viivästyi yllättäen – konduktööriltä kylmäävä kuulutus: ”Junassa on vakava henkeä uhkaava tilanne”

    3. 3

      Nuoren naisen asunnosta levisi karmea haju 48 asunnon taloyhtiöön – löydön puhdistamiseen tarvittiin siirtolava

    4. 4

      Bikinipöksyt kokevat tänä kesänä muodonmuutoksen – pukisitko itse yllesi?

    5. 5

      Teinityttö tervehti tuntematonta miestä koulumatkalla – siitä käynnistyi painajainen

    6. Näytä lisää