Digitoday

Valikko

Tutkijat kehittivät uuden nanovalmistusmenetelmän Suomessa

Teknillisen korkeakoulun Micronovassa olevat tutkijat ovat kehittäneet uuden valmistusmenetelmän nanorakenteiden työstämiseen. Se nopeuttaa huomattavasti koko prosessia, TKK kertoo.
TKK:n mukaan valmistuksessa oivallettiin käyttää uudella tavalla kahden menetelmän yhdistelmää, kohdistettua ionisuihkua (FIB) ja matalan lämpötilan ionietsausta (DRIE). Tämä nopeuttaa merkittävästi valmistusprosessia ja mahdollistaa monimutkaisten kolmiulotteisten rakenteiden valmistamisen.

Koko prosessin läpiviemiseen kuluu viikkojen sijasta vain muutamia tunteja. Valmistusmenetelmän etuna on myös lopputuloksen erittäin korkea laatu ja erinomainen toistettavuus.

Menetelmä perustuu ionisuihkun seostusominaisuuteen. Ionisuihkun galliumionit tunkeutuvat näytteen pintakerrokseen ja muodostavat syväetsausta hyvin kestävän etsausmaskin. Koska suihku on hyvin kapea, pienin valmistettavissa oleva kuvio on kooltaan jopa alle 50 nanometriä.

– Piin ja muiden materiaalien nanotyöstömenetelmiä kehitetään erityisesti elektroniikka- ja optiikkasovelluksiin, ja kilpailu nopeampien ja laadukkaampien prosessien luomisessa on kovaa. Nyt keksimäämme menetelmää ei vain ollut aiemmin kokeiltu hyvin pienten rakenteiden valmistamisessa, kertoo oivalluksen tekijä Nikolai Chekurov.

– Menetelmämme tulee hyödyttämään erityisesti tutkimuskäyttöön tarkoitettujen pienten komponenttien valmistusta ja prototyyppien rakentamista.

Puhdaslinjan laitteiden
avulla mahdollista


Chekurovin väitöstutkimusta ohjaava professori Ilkka Tittonen on tyytyväinen Micronovan nanovalmistuslinjaan, jonka jalokivenä on uusi FIB-laite.

– Ilman Micronovan puhdastilan laitteita emme olisi voineet tätä menetelmää kehittää. Rakenteet ovat virheettömiä, kolmiulotteisia ja täysin ennalta määrättyjä ilman satunnaista vaihtelua, toteaa Tittonen.

Micronovaan hankittiin loppuvuodesta 2007 FIB-laite (Focused Ion Beam), joka on ainoa tämän luokan laite Suomessa. Laitteen käyttöönotto- ja testausvaiheessa viime kesänä Nikolai Chekurov valmisti nanokokoisen Aalto-maljakon, jonka korkeus oli noin 600 nanometriä ja tilavuus noin 0,1 femtolitraa.

Uusi nanorakenteiden valmistusmenetelmä on syntynyt TKK:n mikro- ja kvanttisysteemeitä sekä mikrovalmistustekniikkaa tutkivien ryhmien poikkitieteellisen yhteistyön tuloksena.

Tutkimustulos julkaistiin Nanotechnology-lehden verkkosivuilla tammikuussa 2009 ja helmikuussa painetussa lehdessä, jonka kansikuvaan on valittu uudella Micronovan valmistusmenetelmällä työstettyjä kolmiulotteisia nanorakenteita.

Kommentit

    Näytä lisää

    Näitä luetaan!
    1. 1

      SUORA LÄHETYS JUURI NYT: Manchester Arenassa räjähti, ainakin 22 kuollut – uhrien joukossa lapsia

    2. 2

      Joen kojelautakamera tallensi räjähdyksen – mies odotti autossa rakkaitaan keikalta

    3. 3

      Tästä kuvasta tuli hetkessä Manchesterin tragedian symboli

    4. 4

      Täällä Manchesterin isku tapahtui – katso satelliittikuva

    5. 5

      Suosittu Emmerdale-tähti pakeni henkensä edestä Manchesterin iskua – ”Ihmiset kirkuivat ja huusivat”

    6. 6

      Ariana Granden konsertissa tapahtui karmea isku – tällainen nuorten tyttöjen megaidoli on

    7. 7

      Satumainen jalokivi: Oligarkin seksikäs mallivaimo ylpeili sensaatiomaisella lahjallaan – ”Mieheni ei ole saita”

    8. 8

      Poliisi sai valvontakameran tallenteen 35-vuotiaana kuolleen urheilutähden turmasta – rikkoiko itse liikennesääntöjä?

    9. 9

      Silminnäkijät: Manchesterin iskun tekijä saattoi käyttää naulapommia – ”Kun nousin ylös, näin ruumiita”

    10. 10

      Onko tässä Suomen suurin muumimukikokoelma? Vain yksi puuttuu

    11. Näytä lisää
    1. 1

      SUORA LÄHETYS JUURI NYT: Manchester Arenassa räjähti, ainakin 22 kuollut – uhrien joukossa lapsia

    2. 2

      Varo nopeasti leviävää Facebook-virusta! Tarkista tilisi, saatat jakaa huijauslinkkejä tietämättäsi

    3. 3

      Kulmat minttiin ja verkkarit pyllyyn – aikuinen nainen testasi teinityttöjen suosikkityylin

    4. 4

      Kiekkotähti Kasperi Kapanen vahvisti suhdehuhut – intiimi yhteiskuva Annikan, 18, kanssa

    5. 5

      Käry kävi kirjoituksissa: kolmen oppilaan ylioppilastulokset hylättiin vilpin takia

    6. 6

      Cher, 71, löi gaalavieraat ällikällä – rinnat vapaina äärimmäisessä asuviritelmässä

    7. 7

      Äiti lähti kauppaan ja ”unohti” kolme lastaan tunniksi kampaajalle – kampaaja tyrmää: ”Emme ole lapsiparkki”

    8. 8

      Sinkkuelämää-seksipommi Kim Cattrall, 60, katosi julkisuudesta – taustalla karmea työtilanne

    9. 9

      Video Israelista ihmetyttää: Kieltäytyikö Melania Trump pitämästä miestään kädestä valtiovierailulla?

    10. 10

      Maailmanmestari Nicky Hayden, 35, on kuollut

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Tamperelainen isä lähti aamutossut jalassa ulos ja koki hirvittävän lopun – ”Yhdenkään ihmisen omatunto ei voi kestää tällaista...”

    2. 2

      Vain harva tajusi: prinsessa Dianan käsilaukulla oli salainen tarkoitus – hämäsi valokuvaajia ovelalla kikalla

    3. 3

      Sami Hedbergin fanit raivostuivat jäähallikeikan jälkeen – ”P**ka maku jäi tästä”

    4. 4

      SUORA LÄHETYS JUURI NYT: Manchester Arenassa räjähti, ainakin 22 kuollut – uhrien joukossa lapsia

    5. 5

      Elastisen 220 neliön merenrantatalosta repesi oikeusriita – kovia syytöksiä Lauri Ylösen firmalta

    6. 6

      Kaksi ruoka-ainetta karsimalla suoliston kunto voi parantua jo muutamassa viikossa

    7. 7

      Yksinäinen 12-vuotias tyttö etsi ystävää Facebookista – ensitapaamisesta tuli kauhukokemus

    8. 8

      Kätilöt paljastavat hulluimmat synnytyksensä: ”Äiti yritti saada orgasmin joka supistuksella”

    9. 9

      Varo nopeasti leviävää Facebook-virusta! Tarkista tilisi, saatat jakaa huijauslinkkejä tietämättäsi

    10. 10

      Juontaja Katja Ståhl avautui yllättäen sairaudestaan – ”Kohtalotovereita Suomi pullollaan”

    11. Näytä lisää
    Näitä luetaan!
    1. 1

      SUORA LÄHETYS JUURI NYT: Manchester Arenassa räjähti, ainakin 22 kuollut – uhrien joukossa lapsia

    2. 2

      Joen kojelautakamera tallensi räjähdyksen – mies odotti autossa rakkaitaan keikalta

    3. 3

      Tästä kuvasta tuli hetkessä Manchesterin tragedian symboli

    4. 4

      Täällä Manchesterin isku tapahtui – katso satelliittikuva

    5. 5

      Suosittu Emmerdale-tähti pakeni henkensä edestä Manchesterin iskua – ”Ihmiset kirkuivat ja huusivat”

    6. Näytä lisää
    1. 1

      SUORA LÄHETYS JUURI NYT: Manchester Arenassa räjähti, ainakin 22 kuollut – uhrien joukossa lapsia

    2. 2

      Varo nopeasti leviävää Facebook-virusta! Tarkista tilisi, saatat jakaa huijauslinkkejä tietämättäsi

    3. 3

      Kulmat minttiin ja verkkarit pyllyyn – aikuinen nainen testasi teinityttöjen suosikkityylin

    4. 4

      Kiekkotähti Kasperi Kapanen vahvisti suhdehuhut – intiimi yhteiskuva Annikan, 18, kanssa

    5. 5

      Käry kävi kirjoituksissa: kolmen oppilaan ylioppilastulokset hylättiin vilpin takia

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Tamperelainen isä lähti aamutossut jalassa ulos ja koki hirvittävän lopun – ”Yhdenkään ihmisen omatunto ei voi kestää tällaista...”

    2. 2

      Vain harva tajusi: prinsessa Dianan käsilaukulla oli salainen tarkoitus – hämäsi valokuvaajia ovelalla kikalla

    3. 3

      Sami Hedbergin fanit raivostuivat jäähallikeikan jälkeen – ”P**ka maku jäi tästä”

    4. 4

      SUORA LÄHETYS JUURI NYT: Manchester Arenassa räjähti, ainakin 22 kuollut – uhrien joukossa lapsia

    5. 5

      Elastisen 220 neliön merenrantatalosta repesi oikeusriita – kovia syytöksiä Lauri Ylösen firmalta

    6. Näytä lisää