Digitoday

Valikko

VTT:n vaurioitunut puhdastila siivottiin ja korjattiin

VTT kertoo, että sen puhdastila on jälleen käyttökunnossa helmikuisen tulipalon jälkeen.


Espoon Otaniemessä sijaitsevan Micronovan puhdastilan uudelleenrakentamistyöt ovat edenneet nopeassa aikataulussa, ja puhdastilassa on jälleen hyvät edellytykset mikroelektroniikan huippututkimukselle, VTT uskoo. Tutkimusta voidaan jatkaa jo lähiviikkojen aikana.

Suurin osa tulipalossa vaurioituneista puhdastilarakenteista ja ilmastointi on täysin uusittu. Uusien ja kunnostettujen tutkimuslaitteiden asennustyöt ovat käynnissä, ja prosessien ylösajo rinnakkain laitteiden asennustöiden kanssa on alkanut. Tilan uskotaan olevan täydessä tutkimuskäytössä vuoden loppuun mennessä.

Puhdastilaa käytetään mikro- ja nanoelektroniikan tutkimuksessa. Tutkimuslaitteisto käsittää cmos-tekniikkaan perustuvan valmistuslinjan integroiduille piireille ja mems-komponenteille sekä erikoislaitteita muun muassa piin ja piioksidin syväetsaukseen.

Tilassa on lisäksi materiaalitutkimukseen tarvittavia laitteita erityisesti nanoelektroniikan tarpeisiin.

Asiakkaiden toimeksiantojen ja tutkimusprojektien tarpeita on pyritty täyttämään siirtämällä kunnostettuja prosessilaitteita VTT:n ja TKK:n yhteiskäytössä olevaan uudempaan puhdastilaan Micronovassa sekä käyttämällä kotimaisten ja kansainvälisten yhteistyökumppaneiden alihankintapalveluja.

13,5 miljoonan vahingot

Tulipalossa tuhoutuneiden tutkimuslaitteiden tilalle on hankittu suorituskyvyltään vastaavat laitteet. Merkittävänä parannuksena voidaan pitää siirtymistä sadan millin kiekkokoosta 150 millin kiekkokokoon integroitujen piirien ja puolijohdekomponenttien valmistuksessa. VTT:n mukaan tämä parantaa yhteistyömahdollisuuksia teollisuuden kanssa.

Tulipalossa vaurioitunut 1100 neliömetrin puhdastila kärsi huomattavat vahingot, sillä tilan uudelleenrakentamisen ja kalustamisen kustannukset nousevat noin 13,5 miljoonaan euroon.

Senaatti-kiinteistöt on vastannut purku-, saneeraus- ja rakennustöistä. Vaativien tutkimuslaitteiden kunnostaminen ja korvaavien laitteiden hankinta ovat kuitenkin muodostaneet valtaosan kokonaiskustannuksista.

Micronova on VTT:n ja Teknillisen korkeakoulun yhteinen mikro- ja nanoteknologian osaamiskeskittymä. Micronovassa työskentelee yli kolmesataa tutkijaa ja siellä on Pohjoismaiden suurimmat mikro- ja nanoelektroniikan tutkimukseen liittyvät puhdastilat. Kansainvälistä huippututkimusta tehdään yhdessä yliopistojen, tutkimuslaitosten ja yritysten kanssa.

Kommentit

    Näytä lisää

    Näitä luetaan!
    1. 1

      25-vuotias mies piinasi naapurin naista kuukausien ajan – kunnes oven takana odotti yllätys

    2. 2

      Einin keikka keskeytyi äkillisesti Saariselällä – vietti yön vessan lattialla: ”Silloin mua vietiin... ”

    3. 3

      Arjen kuluttama yksinhuoltajaäiti Ronja, 41, purskahti itkuun katsottuaan peiliin tv-ohjelman muutoksen jälkeen – katso kuvat!

    4. 4

      Teemu Selänne harmissaan parhaan tutkaparinsa puolesta: ”Surullista, että hän on erittäin katkera jääkiekolle”

    5. 5

      Tunnistaisitko? David Beckham julkaisi rujon kuvan naamastaan – fanit kauhistuivat näystä: ”Mitä sinulle on tapahtunut?”

    6. 6

      Patrik Laine nousi ratkaisijaksi – Joel Armia taiteili huiman maalin

    7. 7

      Yön uutiset: Katso mitä tapahtui, kun nukuit

    8. 8

      Jari Sarasvuolle tehty operaatio epäonnistui: syöminen sietämätöntä ja puhe epäselvää – ”SM-bondage-häkkyrä laukesi suussani”

    9. 9

      Siepattu ruotsalainen YK-työntekijä löydettiin kuolleena

    10. 10

      Alastomuutta saunassa vaativille suomalaisille löytyi yllättävä sukulaiskansa

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Yksi varomaton lause Dr. Phil -ohjelmassa teki Daniellesta, 14, megajulkkiksen – ”Hän on varmasti miljonääri vuoden lopussa”

    2. 2

      Raisa Räisäsen mysteeristä ja Pasi Aaltosen murhasta paljastui erikoinen yhteys – keskiössä tamperelainen pubi

    3. 3

      Jari Sarasvuolle tehty operaatio epäonnistui: syöminen sietämätöntä ja puhe epäselvää – ”SM-bondage-häkkyrä laukesi suussani”

    4. 4

      HS: Kahvi uhkaa loppua maailmasta, tilanne dramaattisen vakava – myös Suomen Paulig on huolissaan

    5. 5

      Osaatko ratkaista japanilaisinsinöörien ”helpon” matematiikkapähkinän? Alle 60 prosenttia vastasi oikein

    6. 6

      Janni Hussilta rankka avautuminen saamastaan arvostelusta eron jälkeen: ”Olen kuullut, kuinka olen lihonut”

    7. 7

      Bikinipöksyt kokevat tänä kesänä muodonmuutoksen – pukisitko itse yllesi?

    8. 8

      Jopa kolmannes syövistä voitaisiin välttää – 15 ruokaa, jotka ehkäisevät syöpää

    9. 9

      Ferrarin entinen tallipomo vaatii Kimi Räikköstä ulos tallista – ”On aika päättää hänen seikkailunsa”

    10. 10

      Jyväskyläläinen Erkki on kahden kesämökin loukussa: ”Se on pelkkää työleiriä”

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Merkel tyrmistyi ”hävyttömästä” tempusta – Trump ojensi 350 miljardin laskun

    2. 2

      Nuoren naisen asunnosta levisi karmea haju 48 asunnon taloyhtiöön – löydön puhdistamiseen tarvittiin siirtolava

    3. 3

      Bikinipöksyt kokevat tänä kesänä muodonmuutoksen – pukisitko itse yllesi?

    4. 4

      Teinityttö tervehti tuntematonta miestä koulumatkalla – siitä käynnistyi painajainen

    5. 5

      Tiesitkö? Helsingissä asuu yksi kaikkein aikojen menestyneimmän heviyhtyeen kitaristi – rakastui suomalaiseen Mariaan, elää nyt lapsiperheen arkea Suomessa

    6. 6

      IS seurasi tapahtumien etenemistä: Terrori-isku parlamentin luona Lontoossa – 4 kuoli

    7. 7

      Teinityttö julkaisi hervottoman kuvaparin äidistään kostean illanvieton jälkeen – kiusallinen kuva villitsee somessa: ”Lauantai ja sunnuntai”

    8. 8

      Vihreä Nissan lepää kyljellään Tornion keskustassa – poliisi kertoo, miksi ei puutu tapaukseen

    9. 9

      Albinismia sairastavat kaksostytöt ihastuttavat malleina – poseeraavat nyt yhdessä tumman isosiskonsa kanssa

    10. 10

      Pilvi Hämäläiselle kävi hillitön asumoka – saapui Jussi-gaalaan Aina Inkerin polvisukissa: ”En muistanut, että mulla on halkio”

    11. Näytä lisää
    Näitä luetaan!
    1. 1

      25-vuotias mies piinasi naapurin naista kuukausien ajan – kunnes oven takana odotti yllätys

    2. 2

      Einin keikka keskeytyi äkillisesti Saariselällä – vietti yön vessan lattialla: ”Silloin mua vietiin... ”

    3. 3

      Arjen kuluttama yksinhuoltajaäiti Ronja, 41, purskahti itkuun katsottuaan peiliin tv-ohjelman muutoksen jälkeen – katso kuvat!

    4. 4

      Teemu Selänne harmissaan parhaan tutkaparinsa puolesta: ”Surullista, että hän on erittäin katkera jääkiekolle”

    5. 5

      Tunnistaisitko? David Beckham julkaisi rujon kuvan naamastaan – fanit kauhistuivat näystä: ”Mitä sinulle on tapahtunut?”

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Yksi varomaton lause Dr. Phil -ohjelmassa teki Daniellesta, 14, megajulkkiksen – ”Hän on varmasti miljonääri vuoden lopussa”

    2. 2

      Raisa Räisäsen mysteeristä ja Pasi Aaltosen murhasta paljastui erikoinen yhteys – keskiössä tamperelainen pubi

    3. 3

      Jari Sarasvuolle tehty operaatio epäonnistui: syöminen sietämätöntä ja puhe epäselvää – ”SM-bondage-häkkyrä laukesi suussani”

    4. 4

      HS: Kahvi uhkaa loppua maailmasta, tilanne dramaattisen vakava – myös Suomen Paulig on huolissaan

    5. 5

      Osaatko ratkaista japanilaisinsinöörien ”helpon” matematiikkapähkinän? Alle 60 prosenttia vastasi oikein

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Merkel tyrmistyi ”hävyttömästä” tempusta – Trump ojensi 350 miljardin laskun

    2. 2

      Nuoren naisen asunnosta levisi karmea haju 48 asunnon taloyhtiöön – löydön puhdistamiseen tarvittiin siirtolava

    3. 3

      Bikinipöksyt kokevat tänä kesänä muodonmuutoksen – pukisitko itse yllesi?

    4. 4

      Teinityttö tervehti tuntematonta miestä koulumatkalla – siitä käynnistyi painajainen

    5. 5

      Tiesitkö? Helsingissä asuu yksi kaikkein aikojen menestyneimmän heviyhtyeen kitaristi – rakastui suomalaiseen Mariaan, elää nyt lapsiperheen arkea Suomessa

    6. Näytä lisää