Digitoday

Valikko

VTT:n vaurioitunut puhdastila siivottiin ja korjattiin

Julkaistu: , Päivitetty:

VTT kertoo, että sen puhdastila on jälleen käyttökunnossa helmikuisen tulipalon jälkeen.


Espoon Otaniemessä sijaitsevan Micronovan puhdastilan uudelleenrakentamistyöt ovat edenneet nopeassa aikataulussa, ja puhdastilassa on jälleen hyvät edellytykset mikroelektroniikan huippututkimukselle, VTT uskoo. Tutkimusta voidaan jatkaa jo lähiviikkojen aikana.

Suurin osa tulipalossa vaurioituneista puhdastilarakenteista ja ilmastointi on täysin uusittu. Uusien ja kunnostettujen tutkimuslaitteiden asennustyöt ovat käynnissä, ja prosessien ylösajo rinnakkain laitteiden asennustöiden kanssa on alkanut. Tilan uskotaan olevan täydessä tutkimuskäytössä vuoden loppuun mennessä.

Puhdastilaa käytetään mikro- ja nanoelektroniikan tutkimuksessa. Tutkimuslaitteisto käsittää cmos-tekniikkaan perustuvan valmistuslinjan integroiduille piireille ja mems-komponenteille sekä erikoislaitteita muun muassa piin ja piioksidin syväetsaukseen.

Tilassa on lisäksi materiaalitutkimukseen tarvittavia laitteita erityisesti nanoelektroniikan tarpeisiin.

Asiakkaiden toimeksiantojen ja tutkimusprojektien tarpeita on pyritty täyttämään siirtämällä kunnostettuja prosessilaitteita VTT:n ja TKK:n yhteiskäytössä olevaan uudempaan puhdastilaan Micronovassa sekä käyttämällä kotimaisten ja kansainvälisten yhteistyökumppaneiden alihankintapalveluja.

13,5 miljoonan vahingot

Tulipalossa tuhoutuneiden tutkimuslaitteiden tilalle on hankittu suorituskyvyltään vastaavat laitteet. Merkittävänä parannuksena voidaan pitää siirtymistä sadan millin kiekkokoosta 150 millin kiekkokokoon integroitujen piirien ja puolijohdekomponenttien valmistuksessa. VTT:n mukaan tämä parantaa yhteistyömahdollisuuksia teollisuuden kanssa.

Tulipalossa vaurioitunut 1100 neliömetrin puhdastila kärsi huomattavat vahingot, sillä tilan uudelleenrakentamisen ja kalustamisen kustannukset nousevat noin 13,5 miljoonaan euroon.

Senaatti-kiinteistöt on vastannut purku-, saneeraus- ja rakennustöistä. Vaativien tutkimuslaitteiden kunnostaminen ja korvaavien laitteiden hankinta ovat kuitenkin muodostaneet valtaosan kokonaiskustannuksista.

Micronova on VTT:n ja Teknillisen korkeakoulun yhteinen mikro- ja nanoteknologian osaamiskeskittymä. Micronovassa työskentelee yli kolmesataa tutkijaa ja siellä on Pohjoismaiden suurimmat mikro- ja nanoelektroniikan tutkimukseen liittyvät puhdastilat. Kansainvälistä huippututkimusta tehdään yhdessä yliopistojen, tutkimuslaitosten ja yritysten kanssa.

Kommentit

    Näytä lisää

    Näitä luetaan!
    1. 1

      Poliisi yritti ampua kimppuun käyneen koiran – laukaukset päättyivät murhenäytelmään

    2. 2

      Suomi ensin -johtohahmo raudoissa maijaan, yleisö hurrasi poliisille – näin mielenosoitusleirin purkaminen eteni Helsingissä

    3. 3

      Harvinainen yhteiskuva: Vappu Pimiä poseeraa upeana miehensä rinnalla hääjuhlissa – ”Pussailuloma”

    4. 4

      Povipommi esitteli astetta härskimpää alastonkuvaansa 2-vuotiaalle tyttärelleen – raju raivo syttyi

    5. 5

      Festarikansa jätti jälkeensä täystuhon – sikailukuvat Glastonburyn festivaaleilta kertovat kaiken: siivouskulut yli 800 000 euroa

    6. 6

      Uskomaton video: ruotsalainen Axel lentää itse tekemällään kopterilla, jota kannattelee 76 moottoria

    7. 7

      DN: Venäläishävittäjä pakotti ruotsalaiskoneen kääntymään – uusia tietoja kohtaamisesta Itämerellä

    8. 8

      Video liikuttavasta hetkestä julki: Sirpa Selänne pyyhki kyyneleitä, kun Teemu sai kuulla valinnastaan Hall of Fameen

    9. 9

      Espoolainen Mia käveli aamulla bussipysäkille, kun huomion kiinnitti hautausmaalle kuuluva näky

    10. 10

      10 tärkeää sääntöä satunnaista seksiä harrastavalle

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Livelähetys Prisman kassahihnasta nousi megahitiksi – erityisesti eräs ostohetki synnytti villejäkin teorioita

    2. 2

      Suomalaisnainen juoksi maratonin Pohjois-Koreassa – rajalla paljastuivat Auran, 26, ottamat kielletyt kuvat: ”Sellaisia ei saanut näkyä”

    3. 3

      Video: käsittämätön raekuuro pakotti autoilijat tien sivuun valtatiellä – ”En ole eläessäni nähnyt yhtä rankkaa”

    4. 4

      Onko sinullakin viinanaama? Vertaa tätä kuvaa peilikuvaasi

    5. 5

      Espoolainen Mia käveli aamulla bussipysäkille, kun huomion kiinnitti hautausmaalle kuuluva näky

    6. 6

      Video: nyt tulee kunnon tulipunainen hellemassa kohti Suomea – kunnes se törmää ”helteidentorjunta­bunkkeriin”

    7. 7

      Povipommi esitteli astetta härskimpää alastonkuvaansa 2-vuotiaalle tyttärelleen – raju raivo syttyi

    8. 8

      Sote repii taas hallitusta – Vanhaselta suorat sanat ministerille: ”Käsittämätön ehdotus”

    9. 9

      Gmailiin iso muutos: ”Teemme asiasta päivänselvän”

    10. 10

      Siru, 47, työskenteli Prisman kassalla juhannusyön suorassa lähetyksessä – paljastaa nyt ikimuistoisimman ostohetken

    11. Näytä lisää
    1. 1

      Naisen alastoman ruumiin vierestä löytyi kastikekauha, jonka hirvittävä tarkoitus selvisi pian poliisille – missä ovat heidän murhaajansa?

    2. 2

      Kesäyö innosti pariskunnan niin villiin seksiin, ettei tuhoilta vältytty – leirintäalueen johtaja kertoo näkymästä, joka ei unohdu

    3. 3

      Yksi tehtävä juhannusaatolta herätti kysymyksiä Hämeen poliisissa: ”Mitä ihmettä ihmisten mielessä liikkuu”

    4. 4

      Suomalaisseurueen kotimatka Kroatiasta tyssäsi, kun kännykkään kilahti viesti – ”Loput 120 seisoivat kentällä tumput suorina ja ihmettelivät”

    5. 5

      Martina Aitolehden kipujen syy selvisi: Lääkäriltä tyly tuomio – ”Kyyneleethän siinä pääsi”

    6. 6

      Pirullisen vaikea tarkkuustesti testaa hoksottimesi

    7. 7

      Entinen miljonääri luopui kaikesta ja muutti hökkeliin autiolle saarelle – 20 vuotta eikä ole katunut päivääkään

    8. 8

      Kotihälytyskeikalla odotti näky, joka riipaisi jopa vanhan sosiaalityöntekijän sydäntä – viranomaiset vetoavat juhannusjuhlijoihin

    9. 9

      Kris Jennerin paljastavasta salikuvasta löytyi nolo moka: kuvanmuokkaus meni pahasti pieleen – jopa fanit kritisoivat: ”Surullista!”

    10. 10

      23 asiaa, jotka mullistuvat uudessa alkoholilaissa – kapakoiden aukioloajat, neloskalja kauppoihin...

    11. Näytä lisää
    Näitä luetaan!
    1. 1

      Poliisi yritti ampua kimppuun käyneen koiran – laukaukset päättyivät murhenäytelmään

    2. 2

      Suomi ensin -johtohahmo raudoissa maijaan, yleisö hurrasi poliisille – näin mielenosoitusleirin purkaminen eteni Helsingissä

    3. 3

      Harvinainen yhteiskuva: Vappu Pimiä poseeraa upeana miehensä rinnalla hääjuhlissa – ”Pussailuloma”

    4. 4

      Povipommi esitteli astetta härskimpää alastonkuvaansa 2-vuotiaalle tyttärelleen – raju raivo syttyi

    5. 5

      Festarikansa jätti jälkeensä täystuhon – sikailukuvat Glastonburyn festivaaleilta kertovat kaiken: siivouskulut yli 800 000 euroa

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Livelähetys Prisman kassahihnasta nousi megahitiksi – erityisesti eräs ostohetki synnytti villejäkin teorioita

    2. 2

      Suomalaisnainen juoksi maratonin Pohjois-Koreassa – rajalla paljastuivat Auran, 26, ottamat kielletyt kuvat: ”Sellaisia ei saanut näkyä”

    3. 3

      Video: käsittämätön raekuuro pakotti autoilijat tien sivuun valtatiellä – ”En ole eläessäni nähnyt yhtä rankkaa”

    4. 4

      Onko sinullakin viinanaama? Vertaa tätä kuvaa peilikuvaasi

    5. 5

      Espoolainen Mia käveli aamulla bussipysäkille, kun huomion kiinnitti hautausmaalle kuuluva näky

    6. Näytä lisää
    1. 1

      Naisen alastoman ruumiin vierestä löytyi kastikekauha, jonka hirvittävä tarkoitus selvisi pian poliisille – missä ovat heidän murhaajansa?

    2. 2

      Kesäyö innosti pariskunnan niin villiin seksiin, ettei tuhoilta vältytty – leirintäalueen johtaja kertoo näkymästä, joka ei unohdu

    3. 3

      Yksi tehtävä juhannusaatolta herätti kysymyksiä Hämeen poliisissa: ”Mitä ihmettä ihmisten mielessä liikkuu”

    4. 4

      Suomalaisseurueen kotimatka Kroatiasta tyssäsi, kun kännykkään kilahti viesti – ”Loput 120 seisoivat kentällä tumput suorina ja ihmettelivät”

    5. 5

      Martina Aitolehden kipujen syy selvisi: Lääkäriltä tyly tuomio – ”Kyyneleethän siinä pääsi”

    6. Näytä lisää